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NE-PE02等离子体表面处理仪

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2023-07-01深圳市
型号
深圳纳恩科技有限公司

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产品简介
产品简介:NE-PE02是一款小型等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产···
详细信息

等离子体表面处理仪产品简介

等离子源-2.png

NE-PE02是一款小型等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

等离子体表面处理仪功能特点:

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置 

•双层托盘设计,可调节托盘间距

•8K 镜面不锈钢腔体,密封性 

•可支持 13.56 MHz 射频发生器,与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)

•直观的触摸屏,过程参数实时监控。 

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求 

•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体 

•通过联锁门或可移动的板 

•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制,有两个额外控制器的选择 ( 4 个)

等离子体表面处理仪产品参数:

序号项目型号规格参数
1等离子发生器
功率0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器自动阻抗匹配,远程通信控制
频率40KHz 
2
真空反应腔室腔体材质进口 316 不锈钢,级密封
腔体容积2L
电极数量1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘
腔体直径(圆形)100(W)×270(D)mm
有效处理范围80(W)*235(D)mm
绝缘陶瓷进口高频陶瓷
3气路控制
气体流量控制器浮子针阀流量控制器, 0-500ML
气路数量最小 2 路气体,支持氧气,氩气,氮 气,氢气,四氟化碳等
4整机参数
整机功率1000W
外形尺寸长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

小型等离子体表面处理仪常见应用:

PDMS表面进行亲水化处理,经过等离子体表面处理后键合,形成微流控芯片;

应用等离子体表面处理仪处理木塑基材,提高表面活性水披覆转印后从而提高产品表面的附着力;

利用光固化和微负型技术制备硅橡胶模具,在硅橡胶模具使用前进行等离子处理,可以改善其亲水性;

塑料封装,键合前后增加等离子体表面处理工序,可以提高键合强度和模塑料与框架/基板界面结合强度;

对ITO表面进行等离子体清洗可以降低成核势垒并激活ITO表面上的悬空键;

等离子体表面处理仪可以有效清除键合区的污染物,提高键合区表面化学能及浸润性,因此在引线键合前进行等离子处理可以大大降低键合的失效率,提高产品的可靠性。

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