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产品特点

1、升降式大功率真空微波熔炉，用于材料熔融，例如多晶硅的熔融制取
2、支持1500˚C以内材料熔融工艺
3、支持真空气氛条件工艺
4、支持升降式装填料工艺
5、支持恒速度多温区变换结晶工艺
6、智能化控制系统，温度和功率闭环可控
7、实验数据曲线显示且可以导出数据

技术参数

1.组成：微波真空加热箱体、微波源系统、物料输送承托系统、保温系统、水冷却系统、充气系统、防泄漏系统、控制系统、电控柜及机架
2.制作条件：输入电源：3相，380V/50Hz，配电功率：>40KVA
3.加热系统：微波功率：24KW ，2450±50MHz
4.微波加热箱体尺寸：约400L空间，尺寸为900×900×500 mm（长×宽×高）
5.坩埚内净尺寸：约500×500 ×300 mm（长×宽×高）
6.坩埚容量：50-60KG
7.设备进出料口：
配合升降系统在设备底部开口，托盘尺寸约 640×640mm
8.工作温度：700～1500˚C，极限温度1600˚C
9.微波箱体材质:微波腔体采用不锈钢一体焊接成型，真空气氛设计
10.微波馈入部位:微波从箱体的四周馈入
11.工作时间:可以承受长期高效率工作
12.微波泄漏量:<5mw/cm² （国标）
微波源系统
微波源：水冷系统
波导：采用高真空波导系统
物料输送承托系统
设置升降装置，采用伺服电机和减速机，调节控制位移量，完成输料、定向结晶功能
输送过程中，保证物料定位准确，输送平稳
坩埚到达加热区后，与炉底结合严密，保证在加热过程中炉腔的气密性和保温效果
保温系统
低介电特性陶瓷保温材料
水冷却系统
微波源采用水冷却方式快速降温，确保高温条件下有效的工作
坩埚下方的水冷托盘水流速度可控
气氛系统
预留两个进气孔，采用电磁阀和管路连接，以便真空室内充入保护性气体和分压气体，
设置两极真空泵组实现高真空环境
控制系统
控制方式：采用PLC自动化控制，彩色触摸屏人机界面，数字显示微波功率及箱体内温度
测温：采用红外和热电偶双测温方式，动态监测物料温度
控温：编程控制，可手动设置控温时间及温度要求，恒温精度：≤±10℃
功率调节: 0～24KW线性可调