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molbloc-S® 是一种高精确度的传送标准,适用于校准其他传送标准或过程流量计和控制器。molbloc-S 与 molbox1+ 或 molbox RFM™ 终端配合,可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程,并且为中高流量提供出众的准确度。现有的 molbox1 终端配备了 4.0 或更高版本的嵌入软件,而所有 molbox1+ 终端都能与 molbloc-S 结合使用。
通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 KF 定义。KF 的单位为 sccm/kPa,它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游压力相对应的量程执行的。
为了使流量测量有效,molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量很重要,例如,气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量,或保持 BPR 不变(molbloc-S 下游绝压除以上游绝压)。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之间,具体取决于流量的雷诺数。
由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例,molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程,必须在下游连接一个真空泵,减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时,就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游(无真空泵),则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能,可测量 BPR,在 BPR 值过高时自动提示操作人员,避免在流量非关键时进行测量。
molbloc/molbox 通用技术指标 | ||
molbox1+ | molbox RFM 除非另行说明,否则所有技术指标均与 molbox1 相同。 | |
正常工作温度范围: | 15 到 35°C | |
储存温度范围: | -25 到 35°C | |
正常工作压力范围: | 20 到 200 kPa 绝压(3 到 30 psia);或 50 到 500 kPa 绝压(7 到 70 psia)上游;或 200 到 2000 kPa(30 到 300 psia),仅适用于 molbox1+S。 | |
总流量量程: | <1 到 5,000 slm | |
入口连接: 1E1-S 到 1E2-S 2E2-S 到 2E3-S 5E3-S 和 1E4-S | 1/4 in. VCR™ 1/2 in. VCR™ 1 in. VCR™ 或 1 in. NPT | |
出口连接: 5E1-S 到 2E3-S 5E3-S、1E4-S | 16 mm (3/4 in.) ISO-KF 型真空法兰盘 40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF 型真空法兰盘 | |
支持的气体: | 氮气 (N2)、干空气、潮湿空气、氩 (Ar)、一氧化碳(CO)、氦 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、八氟环丁烷 (C4F8)、氙气 (Xe) | |
流量测量 | ||
范围: | 取决于 molbloc 的尺寸和压力校准量程(请参阅 molbloc-S 量程表格) | |
所需背压率: | 0.4 到 0.9,取决于雷诺数 | |
校准气体: | 标准:干空气
可选:N2(取代标准空气校准或作为补充)、Ar、H2、He、N2O。有关这些气体和其他气体在特定量程内的可用性,请咨询厂家。 *湿空气操作需要进行干空气校准 | |
molbloc-S 压力校准量程: | 低压力 (LP): 20 到 200 kPa 绝压(3 到 30 psia),上游
标准压力 (SP): 高压力 (HP): * HP 校准仅适用于 molbox1+S 终端 | |
分辨率: | ±0.0015% FS | ±0.01% 读数 |
精确度: | 读数的 ±0.06% | ±0.30% 读数 |
预测的稳定度(一年期) | 读数的 ±0.05% | 读数的 ±0.2% |
测量不确定度 | 读数的 ±0.2% 特级校准:±0.125% 读数 | 50 到 500 kPa 时,±0.5% 读数 |