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molbloc-L 层流元件

具体成交价以合同协议为准

2022-11-12上海
型号
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产品简介
用于1sccm到100slm流量的层流元件molbloc-L是与molbox质量流量终端结合使用的层流元件
详细信息

用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

特性一览

  • 可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
  • 整合了过滤器,可保护其免受污染
  • 完整的气体温度调节和测量
  • 连续、实时的读数
  • 可以实现全自动
  • 无活动部件

molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力
取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.3 节)
分辨率 0.0015 % FS
线性 ±0.05% 读数,从 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
重复性 ±0.05% 读数,从 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
精确度1 ±0.07% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.007% FS
稳定度2
(1 年期)
±0.09% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.009% FS
测量不确定度3 ±0.2% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.02% FS
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) 1E5 molbloc
±0.5% 读数,从 25% 到 99% FS
±0.125% FS,在 25% FS 以下
1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。
2 稳定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。
3 测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.2 节)
分辨率 0.0015 % FS
线性 ±0.05% 读数,从 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
重复性 ±0.05% 读数,从 10% 到 99% FS
±0.005% FS,在 10% FS 以下
精确度1 ±0.07% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.007% FS
稳定度2
(1 年期)
±0.03% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.003% FS
测量不确定度3 ±0.125% 读数,从 10% 到 99% FS
10% FS 下为 ±0.0125% FS
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) 1E5 molbloc-L 特级校准不可用
1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。
2 稳定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。
3 测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用

molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L)
测量更新速率 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 量程表)
分辨率 0.01% FS
线性 ±0.23% 读数,从 10% 到 99% FS;±0.023% FS,在 10% FS 以下
重复性 ±0.1% 读数,从 10% 到 99% FS;±0.01% FS,在 10% FS 以下
精确度1 ±0.25% 读数,从 10% 到 99% FS;±0.025% FS,在 10% FS 以下
预测的稳定度2
(一年期)
±0.15% 读数,从 10% 到 99% FS;±0.015% FS,在 10% FS 以下
测量不确定度3 ±0.5% 读数,从 10% 到 99% FS;±0.05% FS,在 10% FS 以下

具有微量程选项的 molbox RFM

molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L) molbloc-L(量程仅仅是 1E5)
测量更新速率 1 秒 1 秒
范围 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表) 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表)
分辨率 0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下 0.01% FS
线性 ±0.23% 读数,从 1% 到 99% FS
±0.0023% FS,在 1% FS 以下
±0.25% 读数,从 5% 到 99% FS;±0.0125% FS,在 5% FS 以下
重复性 ±0.1% 读数,从 1% 到 99% FS;±0.001% FS,在 1% FS 以下 ±0.2% 读数,从 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下
精确度1 ±0.25% 读数,从 1% 到 99% FS;±0.0025% FS,在 1% FS 以下 ±0.32% 读数,从 5% 到 99% FS;±0.016% FS,在 5% FS 以下
预测的稳定度2
(一年期)
±0.15% 读数,从 1% 到 99% FS;±0.0015% FS,在 1% FS 以下 ±0.2% 读数,从 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下
测量不确定度3 ±0.5% 读数,从 1% 到 99% FS;±0.005% FS,在 1% FS 以下 ±0.5% 读数,从 5% 到 99% FS;±0.025% FS,在 5% FS 以下
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