性能优势：

1.微小样品检测：最小测量面积0.03mm2（加长测量时间可小至0.01mm2）

2.变焦装置算法：可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-30mm

3.的EFP算法：Li(3)-U(92)元素的涂镀层，多层多元 素，甚至有同种元素在不同层也可精准测量。

4.*的解谱技术：减少能量相近元素的干扰，降低检出限。

5.高性能探测器：SDD硅漂移窗口面积25mm2探测器。

6.X射线装置：微焦加强型射线管搭配聚焦装置。

核心的EFP算法

专业的研发团队在Alpha和Fp法的基础上，多元迭代开发出EFP核心算法，结合*的光路转换的技术、变焦结构设计及稳定的多道脉冲分析采集系统，只需要少量的标样来校正仪器因子，可测试重复镀层、非金属、轻金属、多层多元素以及有机物层的厚度及成分含量。