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分子泵
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2021-11-24
- 型号
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产品简介
分子泵
详细信息
| 型号 | EXT75DX | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 |
| 法兰 | DN40NW, DN63ISO-K, DN63CF 或 DN100ISO-K | DN100 ISO-K 或DN100CF | DN100 ISO-K 或DN100CF | DN160 ISO-K 或DN160CF |
出口法兰 | NW16 | NW25 | ||
抽速L/s | ||||
| 氮气 | 75 | 240 | 300 | 400 |
| 氦气 | 230 | 340 | 390 | |
氢气 | 165 | 280 | 325 | |
压缩比 | ||||
| 氮气 | >1 × 1011 | |||
| 氦气 | 1 x 106 | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 |
| 氢气 | 5 x 104 | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 |
| 排气/吹扫口 | 1/8”BSP | |||
| 临界背压D (mbar) | 9.5 | 10 | ||
持续进口流量(氮气，sccm) | ||||
| 水冷(40°C环境温度) | 45 | 95 | 105 | |
| 空冷(35°C环境温度) | 30 | 115 | 90 | |
| 自然对流(环境温度30°C) | 10 | 35 | 45 | |
连续背压(mbar) | ||||
| 水冷(40°C环境温度) | 6 | 6.8 | 7.5 | |
| 空冷(35°C环境温度) | 4.8 | 7 | 7.5 | |
| 自然对流(环境温度30°C) | 1 | 2.8 | 4 | |
| 建议支持泵 | E2M0.7/XXD1/RV5/nXDS6i | RV12/nXDS10i | ||
| 一般转速(rpm) | 90000 | 60000 | ||
| 启动时间至90%速度(秒) | 110 | 115 | 145 | 180 |
| 噪音dB(A) | ＜50 | ＜45 | ||
重量Kg | ||||
| ISO | 5.7 | 6.5 | ||
| CF | 8.8 | 8.5 | 9.5 | |
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