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Edwards EPX高真空泵

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2021-11-24
型号
成都四洋科技有限公司

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产品简介
Edwards EPX高真空泵
详细信息

应用

EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

技术规格

型号

EPX180

EPX500

峰值抽速

170m3/h

500m3/h

极限真空

7.5X10E-5Torr

7X10E-7Torr

预热时间

30min

入口法兰

63

160

出口法兰

NW25

噪音

<59dB

冷却水流速

2L/min

冷却水温度

15-35℃

电源

100V,220V,380V

极限功率

1.4Kw

电机额定功率

3Kw

TIM

C3

重量

43.5Kg

45.2Kg

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