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高真空扩散泵控制系统

具体成交价以合同协议为准

2020-11-28
型号
天津中环电炉股份有限公司

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CVD系统,CVD石墨烯炉,CVD管式炉,快速退火炉,真空管式炉,旋转管式炉,多工位回转炉,气氛箱式炉,立式管式炉,干燥箱,RTP管式炉,马弗炉,CVD制备石墨烯,气相沉积炉,高温烧结炉,立式电炉,热处理炉,箱式电阻炉,真空炉,真空烧结炉
产品简介
操作便捷性:抽气口及气路连接口采用KF式快速连接结构。简化安装过程,只需用卡箍便可完成连接,方便操作 。
详细信息

   

 

一、操作便捷性:

抽气口及气路连接口采用KF式快速连接结构。简化安装过程,只需用卡箍便可完成连接,方便操作

 

二、控制智能化

1、采用数显真空计,配合热电偶规管采集数据。测量精度高、稳定性好、抗*力强、真空度显示采用科学计数法,数字显

示,使用方便直观。

2、该系统采用扩散泵系高压强耐冲击,与的控制电源配套使用,提高了使用的可靠性,尤其当炉管密封系统与在使用过程

中的大气相通,导致系统会自动停止工作,待炉管密封系统恢复正常仍可使用。

 

三、结构实用性:

1、内置双极旋片式机械真空泵,有效地提高了抽气效率。

2、本身作为真空控制系统的同时,也可作为活动平台使用,方便放置电炉及其它设备。

 

四、周边扩展性:

1、该真空控制系统可与公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉。

2、该真空控制系统可与公司生产的气体流量控制系统组合使用。

3、该系统可作为真空获得设备独立使用。

产品用途:该系列产品应用在我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉等设备上。是对炉管及箱体抽取真空、真空

测量与自动控制为一体的真空控制系统总成。设备为用户提供了具有真空度可控的实验环境。

 

产品名称

产品型号

真空泵机组参数

真空规管

控制方式

工作电压

使用真空范围适用本公司生产的真空管式电炉、真空箱式电炉

外形尺寸(mm)

重量(Kg)

标准配置

双级旋片真空泵

扩散泵

高真空扩散泵系统

ZX-KS03

抽速 8L/S极限真空度6*10-2Pa

抽速 500L/S极限真空度1.3*10-4Pa

热偶规管  电离规管

自动控制

AC380V±5%50HZ

10-1Pa~10-2Pa

600x650x1080

170

热偶规管一支,电离规管一支,波纹管一支

ZX-KS18

抽速 15L/S极限真空度6*10-2Pa

抽速 750L/S极限真空度1.3*10-4Pa

 

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