$item.Name

首页>测量/计量>其它测量>其它测量

参考价:

  • 面议
1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统

具体成交价以合同协议为准

2020-11-28
型号
天津中环电炉股份有限公司

免费会员 生产厂家

该企业相似产品
CVD系统,CVD石墨烯炉,CVD管式炉,快速退火炉,真空管式炉,旋转管式炉,多工位回转炉,气氛箱式炉,立式管式炉,干燥箱,RTP管式炉,马弗炉,CVD制备石墨烯,气相沉积炉,高温烧结炉,立式电炉,热处理炉,箱式电阻炉,真空炉,真空烧结炉
产品简介
产品应用:PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
详细信息

   

 

产品应用:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成:

PECVD系统配置:

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

3.预加热开启式管式电炉

4.等离子射频电源

5.多路质量流量控制系统

6.真空系统(可选配中真空或高真空)  

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

相关技术文章

同类产品推荐

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

仪表网采购电话