仪器简介：日本精工膜厚仪SFT-110

日本精工电子有限公司的子公司精工电子纳米科技有限公司将在5月初推出配备自动定位功能的［X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110］，使操作性进一步提高。对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及品质，降低成本。精工从1971年推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。
为了适应日益提高的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。

技术参数：日本精工膜厚仪SFT-110

［主要产品规格］
检测器： 比例计数管
X射线源： 空冷式小型X射线管
准直器： 0.1、0.2mmφ2种
样品观察： CCD摄像头
样品台：[固定] 535×530mm
[电动] 260×210mm (移动量 X:250mm, Y:200mm)
样品大高度：150mm