典  型  应  用

   污染物清洗

   清洗玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料表面的有机物及其他污染物

   表面活化

   利用等离子体轰击样品表面，改变样品表面张力和活性

   镀膜

   采用等离子断键功能的装置，将镀膜材料以纳米级厚度均匀覆盖样品表面

   等离子体刻蚀

   对半导体材料、集成电路板、PCB板、塑料制品等材料进行刻蚀

   等离子体反应

特别的工艺手段和装置，可以实现等离子体与样品的化学反应，并得到相应物质

粉体处理

粉体装置，可实现纳米级颗粒的等离子体均匀处理，实现各项性能

控制等离子浓度和方向

通过转换电极正负极和电极之间距，可控制等离子体浓度和反应方向

加热电极模块

温度可控，可以加速等离子体处理速度和*提高样品处理的均匀性

沉积镀膜模块，改变表面特性

沉积CF材料，样品表面可以具有憎水的特性

沉积含苯材料，样品表面起到绝缘防水的特性

沉积含有羟基的材料，提高样品表面和其他材料的结合效果

化学反应

气体纯化和使用等离子体与相关材料进行化学反应

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒

感应耦合模块

感应耦合等离子体装置

气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计