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PINUS1-B洁净机器人描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有*的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。
PINUS1-B洁净机器人
简介
Introduction
直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。
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参数
Parameter
本体重量Body Weight | 50KG |
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适用晶圆尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/125mm/100mm |
负载Payload | 1KG |
电源输入Power Supply | AC电压:100-240V AC频率:50HZ/60HZ |
节拍Bear | 4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料,传输位置不同相关) |
动态偏差纠正精度(AWC) | ±0.1mm |
重复定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm(3σ) |
T: ±0.003°(3σ) | |
R: ±0.05mm(3σ) | |
漏率Leak rate | < 1 x 10E-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
适用温度 Applicable temperature | 法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃ |
洁净度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >1100million cycles |
复合运动 Compound motion | 支持Support |
PC远程操作软件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互锁IO interlock | 支持Support |
安全区Safe area | 支持Support |
碰撞保护Collision protection | 支持Support |