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简介SRBZ820C-SMSX洁净机器人
Introduction
采用*的直驱电机驱动技术,具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道设备中广泛应用,对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务,快速响应的售后服务,以及敦实的技术实力,是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。
参数SRBZ820C-SMSX洁净机器人
Parameter
结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
---|---|---|
密封方式Seal way | 磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing | |
自由度数DOF | 2 | |
负载Payload | 名称name | 托盘Tray |
直径diameter | Φ370mm | |
重量weight | 2.5kg | |
大运动范围 Moving Range | R轴(mm)R-Axis | 立柱中心至R轴大伸展处被搬运物体中心距离820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
θ轴(°)θ-Axis | ||
全行程小时间 Minimum running time | R轴(s)R-Axis | 2.5 |
θ轴(s)θ-Axis | 3.5 | |
重复定位精度 Repeatability | θ轴(°)θ-Axis | ±0.01(3σ) |
R轴(mm)R-Axis | ±0.1(3σ) | |
重量Weight | 机械手本体Main-body | 41kg |
控制器Controller | 15kg | |
耐真空度Base Pressure (Pa) | 10-5Pa | |
漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
碰撞保护Collision Protect Function | 盘片和机械手无损伤Disc and robot without damage |