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PK2H52-012U 超精密压电红外扫描器

具体成交价以合同协议为准

2018-06-28上海市
型号
PK2H52-012U
参数
适用领域:科研 产地:国产 加工定制:否
上海纳动纳米位移技术有限公司

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该企业相似产品
压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
产品简介
超精密压电红外扫描器采用压电陶瓷驱动的压电红外纳米扫描器,压电红外扫描器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,红外纳米扫描器具有的运动精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。
详细信息

 

   超精密压电红外扫描器 内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且*通孔较大,可更好的集成于红外热成像扫描系统中。

应用:

原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接  纳米光刻

超精密压电红外扫描器特点:
1-3维运动

大运动范围370μm

一体式结构设计,多维运动无耦合

大透光孔径35mm

闭环精度可达0.15%F.S.

 

技术参数:

产型号

PK2H52-012U

公差

运动自由度

X、Y

-

传感器类型

-

-

标称行程范围(@0~+120V)

17 μm

±20%

zui大行程范围(@-20~+150V)

12 μm 

±20%

分辨率

0.1 nm

typ.

重复定位精度

-

typ.

线性度

-

typ.

承载能力

2.5 N

Max.

刚度

(X)1.5 N/μm、(Y)1.5 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)1000 Hz、(Y)1000 Hz

±20%

静电容量

1.8 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(*)1

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m

±10mm

中孔尺寸

Ø25.5×23mm

-

外形尺寸(LxH)

58×52×10 mm

-

重量

60 g

±5%

本体材质2

铝(W)

-

说明:1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用;*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。

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产品参数

适用领域 科研
产地 国产
加工定制
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