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PFV3D70-600U-S 1~3维精密压电纳米扫描台 光学表面分析仪

具体成交价以合同协议为准

2022-10-02上海市
型号
PFV3D70-600U-S
参数
适用行业:其他 产地:国产 加工定制:是
上海纳动纳米位移技术有限公司

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该企业相似产品
压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
产品简介
1~3维精密压电纳米扫描台采用单片金属体铝合金制成,采用了EDM电线腐蚀和其他精密机械手段构建,纳米扫描台该种设计使得运动有着近*的直线度和平面度,与使用压电陶瓷管的纳米扫描台相比,它具有高机械强度并可球面纳米扫描。
详细信息

   1~3维精密压电纳米扫描台采用单片金属体铝合金制成,采用了EDM电线腐蚀和其他精密机械手段构建,纳米扫描台该种设计使得运动有着近*的直线度和平面度,与使用压电陶瓷管的纳米扫描台相比,它具有高机械强度并可球面纳米扫描。

1~3维精密压电纳米扫描台型号说明:

产品型号

PK3L60-080U

PK3L60-080U-S

公差

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

80 μm/轴

80 μm/轴

±20%

行程范围(@-20~+150V)

100 μm/轴

100 μm/轴

±20%

分辨率

5 nm

7 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.15% F.S.

typ.

承载能力

6 N

6 N

Max.

刚度

0.8 N/μm

0.8 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

(X)210 Hz、(Y)210 Hz、

(Z)190 Hz

±20%

静电容量

1.6 μF/轴

1.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

60×60×24 mm

60×60×24 mm

-

重量

180 g

180 g

±5%

本体材质2

铝(B)、钢

铝(B)、钢

产品特点:
◆ 超薄的外形尺寸;
◆ 超大行程;
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统,有效消除侧向运动分量;
◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

产品规格
 XY范围        100x100 µm
 zui小扫描步进       0.1 nm
 整范围内的角度倾斜    < 0001°
 zui大扫描速度    10 Hz(行/秒)
 zui大样品重量       100g
 谐振频率XY          1 kHz
 非线性残余            ≤0.03%
 传感器类型              电容传感器
内置TDC(时间数字转换器)位数      24位

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产品参数

适用行业 其他
产地 国产
加工定制
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