上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计（Mass flow meter，简称MFM）/气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器zui小量程为0-2SCCM(标准毫升每分钟)，zui大量程为0-2000SLM(标准升每分钟)，具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点，在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器，也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。

气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC工作原理
MFM由传感器、分流器、主通道及电路板等构成，用于测量洁净气体流量。
气体质量控制器MFC除了具有与MFM类似的各个部件外，还有一个流量调节阀及PID控制电路，它不但可以测量气体流量，还可以控制气体流量。
气体通过质量流量控制器（质量流量计）时，大部分气体通过分流器，小部分气体流过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理直接测量气体的质量流量，并将流量传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器进行线性化处理，输出与瞬时流量成正比的电压信号0-5VDC。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将比较后的差值电压放大后去驱动控制阀门，PID闭环控制，使流过通道的气体流量与设定的气体流量相等。
在气体压力、温度变化的情况下，（气体质量流量控制器）能精确测量（控制）气体流量。
因为MFM/气体质量流量控制器MFC测得的是气体的质量流量而不是体积流量，其质量流量单位通常表示为SCCM（标准毫升每分钟）或SLM（标准升每分钟）。
标准状态是指压力为一个大气压（101.325KPa）、温度为0度。因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量等同于质量流量。
因此，在选择或气体质量流量控制器时，需要确认流量范围是不是该标准状态下的标况体积流量（也就是质量流量）。如果是工况流量，需用下列公式换算为标况体积流量。
在不考虑压缩因子的情况下，气体标况流量与工况流量的换算公式为： 
Q标况＝Q工况 * 〔(P表压+0.1)/0.1〕 * 〔 273.15/(273.15+T工况)〕
防腐型MFM、防腐型气体质量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于测量二氧化硫、氯甲烷等腐蚀性气体。

/气体质量流量控制器注意事项
1、/气体质量流量控制器在出厂前均根究用户要求调整好，用户不得随意自行调整。
2、使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果/气体质量流量控制器出口接有液体源瓶，应在/气体质量流量控制器出口安装单向阀，防止液体回流损坏/气体质量流量控制器。
3、/气体质量流量控制器通道采用的材料为：SUS316L不锈钢, 聚四氟乙烯，氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
4、/气体质量流量控制器安装时保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置，我公司也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。
5、对于气体质量流量控制器要注意工作压差，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
6、气体质量流量控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用，一般情况下用户应在控制器进气口前安装电磁（手动）截止阀。（有必要时在气体质量流量控制器前后都应加装）
7、气体质量流量控制器在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态，应先切换至“关闭”状态。