大口径干涉仪面形检测技术研究或进展
- 2020/3/12 9:08:42 29870
- 来源：仪表网
【仪表网 仪表研发】随着光学行业以及相关技术领域的发展，光学表面面形的检测精度需求也越来越高。球面检测方法可以去除参考面面形误差的影响，从而提高了被检面的检测精度。
另外，受天文及空间光学、高功率激光装置、超强超短激光装置，以及自由电子激光装置等重大项目驱动，大口径高精度光学元件的需求日益增加，传统的大口径光学元件干涉检测方法主要采用相对测量法，该方法检测精度受干涉仪自身标准平晶面形精度的制约，特别是当待测大口径光学元件面形PV值要求优于0.1λ时，干涉仪参考平晶引入的系统误差便不能再忽略。
为此，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队在Φ600mm口径干涉仪检测技术研究方向取得新进展，提出一种基于多表面干涉原理的原位面形检测技术，实现Φ600mm口径干涉仪标准平晶面形误差的原位测量。该方法无需移动置换干涉仪自身的标准透射平晶，无需旋转标准反射平晶，这极大地提高了测量稳定性，并降低了拆卸大口径干涉仪标准平晶的风险，并且该方法在获得低频波面误差的同时也不会损失中频波面误差信息。
研究人员提出的一种基于多表面干涉原理的原位面形检测方法，通过一个辅助透射平晶和四组测量即可完成面形测量，面形检测法是一种能够实现将参考平晶面形误差从测量结果中分离出去，从而得到被测元件面形的方法，可实现亚纳米量级精度的面形测量。
该研究成果不仅可以提升现有Φ600mm口径激光平面干涉仪的检测精度，为大口径高精度光学元件加工提供高置信度的测量结果，还可以为行业内乃至国家层面建立Φ600mm口径标准平晶计量标准提供理论和技术支撑。
中国科学院上海光学精密机械研究所成立于1964年5月，建所55年来，上海光机所完成了一系列重大科研项目，包括重大的光学与激光前沿基础和应用基础研究项目、大型的激光应用工程研究等；建成了国内仅有、为数不多的兼具大能量短脉冲激光加载和主动探针光功能的“神光II”综合高功率激光装置、超强超短激光装置、激光原子冷却装置、空间全固态激光器研制平台等，并具有各种新型、高性能激光器件、激光与光电子功能材料研制平台。
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