《金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备》团体标准征求意见
- 2023/9/28 11:04:16 13787
- 来源：仪表网
【仪表网 行业标准】中国质量检验协会批准立项和组织制定的《金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备》团体标准，已组织参编单位和相关专家进行多次讨论和修改，并据此形成上述团体标准征求意见稿。按照《中国质量检验协会团体标准管理办法》的相关规定和要求，现对上述团体标准制定公开征求意见，意见反馈邮箱：zhubaocgc@c315.cn，截止时间2023年10月26日前。
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件规定了用于制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备的术语和定义、缩略语、设备原理及分类、一般要求、设计要求、安全性要求、运行要求、安全联锁、技术参数、检验及测试、检验规则、标志和包装等。
本文件适用于金刚石制备用途的微波模式为单模、多模的微波等离子体化学气相沉积设备。
设备原理：
设备由微波源产生微波，经波导管传输至微波模式转换器，微波模式转换后，微波进入谐振腔内形成强电场区域，将输入谐振腔内的反应气体在强电场作用下，激发成等离子体产生化学反应，沉积金刚石膜。
分类：
MPCVD设备根据谐振腔内微波模式，可分为：单模、多模两种类型，两种微波模式激发等离子体产生化学反应沉积金刚石膜的原理一致。设备结构根据微波馈入方式、腔内微波模式、等离子体状态、材料制备等，要求不同结构不同，其具体结构由各厂家自行规定。
使用安全要求：
由于MPCVD设备的沉积工艺中可能使用易燃、易爆或有毒的气体，为了保证设备安全与人身安全，特提出以下要求:
a) 设备运行环境中应配有相应的易燃、易爆气体监测设备。
b) MPCVD 设备真空系统、微波系统、气体管道、连接机构、安全联锁装置、气瓶柜等关键部件，都应安全可靠工作,如有装置失效或功能异常时禁止开机使用。
c) 设备安装后应进行气体泄漏测试，保证运行设备无泄漏。
d) MPCVD 设备的气密性、极限真空度未达到本文件规定的技术要求时，应排除漏点，使设备满足要求后开机使用。
e) 应定期检查设备微波泄漏功率密度是否符合要求。
f) 当采用氧气作为催化剂时，应确认其混合气体的比例在安全范围内，防止爆炸。
g) 气体管路安装的密闭柜体应有内径Ф≥40mm 的排气端口，防止可燃气体累积导致爆炸。
h) 设备应有固定装置，防止地震或其他意外情况时设备倾倒。
i) 设备运行环境应有良好的废气排放措施，场所排废通道内径Ф≥50mm，如反应气体为有毒有害的危险气体，或反应生成物中含有有毒有害物质，需加装报警装置和尾气处理装置与设备配套使用。
试验仪器：
试验设备、工具，应经专业计量机构检定，并在检定合格有效期内，具体包括：
a) 三坐标测量仪；
b) 高度计；
c) 千分尺；
d) 卡尺；
e) 扭力仪；
f) 水平仪；
g) 数字视频显微镜；
h) 氦质谱检漏仪；
i) 红外测温仪；
j) 兆欧表；
k) 接地电阻测试仪；
l) 耐压测试仪；
m) 泄漏电流测试仪；
n) 电子天平(分度值0.1mg)；
o) 微波漏能仪(分度值0.01mw/cm2)；
p) 真空计(分度值0.1pa)；
q) 气压表(分度值0.05Mpa)。
型式检验：
1.有下列情况之一时，应进行型式检验：
a) 新产品设计定型时；
b) 结构、工艺、原材料有重大变化(4M变更)，影响设备关键性能时；
c) 国家法律法规或合同要求时；
d) 正常生产满2年(含)时，后续每2年(或累积生产一定产量)，应周期性进行型式检验。
e) 设计定型的设备停产1年后，恢复生产时；
2. 型式检验应从准备交付的检验合格设备中，随机抽取一台进行测试。
3.型式检验项目应为本文件中全部项目。
更多详情请见附件。
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