《镍铂靶材合金化学分析方法电感耦合等离子体原子发射光谱法》征求意见_光谱

《镍铂靶材合金化学分析方法电感耦合等离子体原子发射光谱法》征求意见

摘要：近日，国家标准计划《镍铂靶材合金化学分析方法第1部分:铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》编制完成并征求意见，时间截止到2023年6月17日。

　　【仪表网行业标准】近日，国家标准计划《镍铂靶材合金化学分析方法第1部分:铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》编制完成并征求意见，时间截止到2023年6月17日。主要起草单位为贵研铂业股份有限公司、贵研检测科技(云南)有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司等。

　　根据YS/T 937-2013镍铂靶材产品标准中 NiPt3、NiPt5、NiPt10、NiPt15Pt含量的准确、快速测定要求，化学法流程长，从准确、快速考虑，电感耦合等离子体原子发射光谱无疑是首选。

　　镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料。镍与铂同属过渡族金属,其中镍表现为铁磁性，铂表现为顺磁性，因此随铂含量的增加，Ni-Pt合金磁性减弱，由铁磁性向顺磁性转变，因铂含量的增加能够提高薄膜的高温稳定性，并且改善界面形貌，减少侵占缺陷。

　　所以不同铂含量的镍铂合金靶材在半导体制造工艺中发挥了重要作用，因此，材料研究和生产经营人员都需要更快速、更准确的掌握其中铂元素的含量。铂含量结果的准确和分析方法的标准化是保证产品质量，指导公平、公正交易，维护最佳秩序，促进最佳共同效益的必要条件之一，故制定该标准是很有必要的。

　　经过资料搜索，YS/T 937-2013镍铂靶材产品标准，附录A中1%～15%的铂含量也采用ICP-AES法测定，但此方法无内标控制，铂含量大于5%以上采用稀释后测定，稀释过程容易引入误差，而且方法中没有重复性及再现性结果。

　　本文采用Y为内标测定控制，无稀释过程，保证测定的准确性，且增加重复性及再现性结果计算。保证了方法的适用及准确。

　　本标准的制定，对考察物料平衡，公平、公正交易，维护行业最佳秩序，促进最佳共同效益和推广应用具有重要意义。同时，也为产品质量保证提供有力支撑。

　　仪器设备

　　电感耦合等离子体原子发射光谱仪(工作参数见附录A)。在仪器最佳工作条件下凡是能达到下列指标者均可使用:

　　——光源:氩等离子体光源，发生器最大输出功率不小于1.30kW。

　　——分辨率:20Onm 时光学分辨率不大于0.010nm; 400nm时光学分辨率不大于0.020nm。

　　——仪器稳定性:仪器1h内漂移不大于2.0%。