《表面化学分析 S-SIMS相对强度标的重复性和一致性》征求意见
- 2022/11/7 11:35:34 22195
- 来源：仪表网
二次离子质谱(Secondary lon Mass Spectrometry，简称SIMS)技术是一种非常灵敏的表面分析技术，可指认表面痕量元素及同位素，是表面科学技术中不可或缺的分析技术。随着科技的发展，SIMS分析技术也得到了很大的提升。在我国各高校、科研院所、先进材料制造行业，二次离子质谱技术得到广泛的应用。重视和发展SIMS是表面分析技术的一项重要工作。
在定量分析方面，其它表面分析技术，如XPS、AES，根据谱峰强度可以得到较好的定量结果，但是SIMS谱峰强度由于受基体影响大，目前定量分析仍处于研究探索中。SIMS谱峰相对强度重复性和一致性测量评估是定量分析的基础性工作。
虽然SIMS定量分析较难，但是保证仪器和分析方法的有足够稳定性和一致性相对较容易。这可探索系列样品间的变化趋势，分析材料间的差异等。不同时期和不同实验室所测结果的分析比较，与参考数据库的分析比较，也需要仪器和方法有合适的稳定性和一致性。
目前，SIMS仪器强度标一致性和重复性的评估，既没有行业标准也没有国家标准。各仪器组自行校准，技术要求、校验条件、校验项目、校验方法、校验结果的处理各不相同，有些测试结果甚至未经校正就发表。如此，所报告测试结果难以相互比较借鉴利用,限定了相互交流,也不利于与参考数据库的比对分析。探索研制SIMS定量分析方法，制定二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性的测试评估方法标准，很有必要。
本项目正是为了对此类新型高端仪器的相对强度标校准提供技术依据,使得从事该类仪器检测工作的各类分析测试机构和使用SIMS的实验室，能够更好地为科研技术、先进制造、检验检测提供客观、可比、有效的检测数据，体现我国在分析检测高技术领域和标准领域的水平。同时也是为了与国际上实验室学术团体的学术交流以及与国际组织间的技术交流扫清障碍。
该文件按定量分析测量要求，清晰地阐述了选用PTFE参考样品、静态SIMS测量参数，获得不同质量的分子碎片的质谱，给出谱峰强度重复性计算、结果评估等流程。资料性附录中给出了不同技术质谱的具体的工作参数示例，使本文件更易于应用。
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