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高温超导薄膜的单晶基片LaAlO3
铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前zui重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长,可以得到直径2英吋及更大的单晶和基片。它与YBaCuO等高温超导材料和晶格匹配好,介电常数较低,微波损耗小,因而适于制作高温超导微波电子器件(如远程通讯中的高温超导微波滤波器等)。有巨大的现实及潜在的应用前景。
晶体主要参数:
晶系 | 赝立方晶系 黄铜矿Pm3m |
晶格常数( ) | a=3.790 |
熔点(℃) | 2100 |
密度(g/cm3) | 6.50 |
比热(cal/g℃) | |
莫氏硬度 | 6-6.5 |
热膨胀系数(/℃) | 9.4x10-6 |
介电常数 | εr= 21 |
特点 | 适于微波电子器件 |
生长方法 | 提拉法 |
基片规格:
尺寸: | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″ | |
厚度: | 0.5mm,1.0mm |
表面抛光: | 单面或双面 |
取向: | <100> <110> <111> |
晶面定向精度: | ±0.5° |
边缘定向精度: | 2°(特殊要求可达1°以内) |
斜切晶片: | 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片 |
Ra: | ≤5?(5μm×5μm) |
高温超导薄膜的单晶基片LaAlO3