CO.65 进口超声波流量计

SEMIFLOW夹持式流量计专为半导体行业设计。这款高精度、高可靠性的超声波传感器能够直接透过硬质塑料管或管道进行测量，与液体无接触，从而消除泄漏和污染风险，进而提高设备正常运行时间并最l大化良率。其紧凑的外壳设计集成了电子电路板，非常适合便捷的系统集成。

测量原理

SEMIFLOW流量传感器采用超声波时差法精确测定流量。传感器分别测量超声波沿流体流动方向和逆流动方向的传播时间。

两个信号之间的时间差即为判断流体流动速度的度量指标。测量以皮秒级精度进行，并以10 ms为周期进行平均处理。根据流体流动速度和已知的测量通道的横截面积，即可计算出具体的体积流量。

SEMIFLOW®  CO.65进口非接触式夹持流量计

非接触式流量测量

紧凑型传感器设计

高级别化学耐受性

高级别测量精度与重复性

半导体应用场景

→ 化学品供应/输送系统 (CCSS / CDS)

→ 化学机械抛光/平坦化(CMP)

→ 光刻工艺

→ 电镀工艺

→ 光刻胶涂覆

→ 研磨液（浆料）配制/混合

→ 晶圆/掩膜版清洗

→ 湿法刻蚀

技术参数

详细情况请下载pdf或联系我们！