SEMIFLOW® CO.65 SONOTEC夹装式超声波流量计

SEMIFLOW® CO.65 | 非接触式流量计

用于在硬质塑料管与管道上进行高精度流量测量

可靠的液体流量测量在半导体工艺管理中起着重要作用。SEMIFLOW CO.65 流量计可有效监测湿法工艺，确保液体保持恒定流量，或在使用点（Point of Use）实现体积定量分配管理。通过实施准确且可靠的流量测量，晶圆厂（Fabs）能够显著提升工艺质量。

SEMIFLOW 传感器是经行业验证的先进流量计，兼具坚固设计与创新夹装式（Clamp-on）技术，可消除污染与泄漏风险，从而提高系统稼动率。由于其紧凑外壳内集成电子板与分析单元，流量计小至与单个换能器相当，易于集成到现有工艺链与系统架构中。

SEMIFLOW® CO.65外夹式超声波流量计 测量原理

流量测量 | 超声波时差法

SEMIFLOW 与 SONOFLOW 流量传感器采用超声波时差技术准确测定流量。传感器测量超声波沿液体流向与逆流向的传播时间。两路信号的时间差用于表征流体流速。体积流量由流体速度乘以管路横截面积计算得到。

气泡检测 | 超声波透射法

SONOCHECK ABD06 非接触式气泡传感器通过动态振幅监测检测气泡与堵塞。根据相邻介质的声阻抗不同，界面会发生反射与透射。当气泡通过传感器通道时，透射声波信号幅值下降；幅值下降越大，气泡尺寸越大。

SEMIFLOW® CO.65外夹式超声波流量计

非接触式流量测量

→ 通过管壁进行超声测量

→ 非接触式传感器设计，消除污染与泄漏风险

→ 夹装式上盖与柔性衬垫，确保管道与换能器之间最佳耦合

紧凑的传感器设计

→ 集成电子板与分析单元

→ 易于集成至现有可编程逻辑控制器（PLC）或泵系统

→ 多种传感器尺寸，覆盖广泛管径范围最高耐化学性

→ 外壳材料：均聚聚丙烯（PP-H）；连接器材料：聚酰胺（PA）

→ 非接触式传感器设计，实现无磨损测量

→ 适用于危险环境

最高精度与重复性

→ 精度最高可达 ±1%（Of Reading，读数值）

→ 实时流量测量与体积累计（Totalizing），最大流量可达 400 L / min

→ 可选：SONOTEC 软件，用于传感器操作与调节

详细情况请下载pdf或联系我们！