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在半导体、精密光学、MEMS 等制造领域,高精度的三维形貌检测是产品质量的生命线。但你是否也曾陷入这样的检测困境?
托托科技神影系列 三维光学轮廓仪,用三维拼接功能,给出了答案。

简单来说,三维拼接就像给样品拍摄一张全景高清3D照片。
神影系列三维光学轮廓仪将大尺寸样品划分为多个连续的高分辨率小视场,系统依托高精度电动XY位移平台和±3°电动智能调平俯仰台,配合高倍物镜逐个拍摄每个区域的完整三维轮廓数据;再通过智能特征匹配算法,将所有独立的三维数据块无缝融合,最终生成一个覆盖样品全貌、同时保留纳米级分辨率的完整三维模型。
这项功能带来的核心优势,打破传统单视场测量的局限:
无需取舍:200亿像素超高清拼接,保留原始分辨率,全局全貌与纳米级细节兼得,一键导航定位任意区域。
精度无损:Z向分辨率0.1nm,粗糙度RMS重复性低至0.003nm,台阶测量重复性0.1%,跨视场拼接无断层。
高效可靠:自研核心AI算法,自动找焦+智能调平,1秒极速出图,全流程自动化,批量检测效率大幅提升。
三维拼接功能的落地,为多个精密制造行业的大尺寸样品检测提供了高效解决方案。
微透镜阵列是 AR/VR 设备、激光雷达、成像系统中的核心元件。传统单视场检测方式下,要么只能获取阵列的整体排布信息,无法测量单个透镜的曲率半径、矢高和面形误差;要么只能对少量透镜进行抽样检测,无法评估整个阵列的均匀性。

微透镜阵列(整体尺寸:11mm×3mm)
神影系列三维光学轮廓仪的三维拼接功能,可一次性完成整个微透镜阵列的三维扫描。在生成的完整模型上,你既能宏观查看所有透镜的排布间距、整体平整度,又能任意放大到单个透镜,精准测量其各项参数,极大提升了检测效率与数据完整性。


柱面镜(整体尺寸:10mm×1.62mm)


菲涅尔透镜
除此之外,设备还广泛适用于衍射光学元件(DOE)、大尺寸光学镜片、导光板等元件的全面形检测。
在精密加工领域,大面积金属表面的纹理、刻蚀结构、涂层厚度均匀性检测同样面临单视场局限。
三维拼接功能可完整呈现数厘米级样品的表面形貌,准确评估加工工艺的一致性,快速定位大面积范围内的划痕、凹陷、凸起等缺陷,所有测量结果可一键生成标准化检测报告,满足工业质量管控的追溯要求。



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