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低温等离子灰化仪PCA系列

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2026-06-14上海市
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产品简介
低温等离子灰化仪PCA系列
详细信息

Diener Plasma推出低温煤灰化仪 FCA系列   德国??


Diener等离子表面处理设备              

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司,是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术者。Diener采用的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、80KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子表面处理设备。

目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的质产品,以保证性能技术稳定。


立足于中国市场需求,Diener推出低温等离子煤化仪PCA系列,共三款设备,满足不同用户的需求。

FCA100半自动控制,发生器13.56MHz/0~100W

FCA200全自动控制,发生器13.56MH 2.45GHz/0~300W,温控系控 单路气体

FCA300全自动控制,发生器13.56MHz 2.45GHz/0~300W,温控系统 双路气体

FCA200/FCA300配备了温控系统,可以保证灰化的同时不破坏煤的内部结构,并且加快了灰化速度。

同时,Diener FCA200/FCA300可设定压力,时间,功率,气体流量,舱体温度等多个参数,可以提供科研人员多种数据。上海尔迪仪器科技有限公司为Diener Plasma中国代理商,详情咨询


    



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