SFM5400 SENSIRION气体质量流量计

Sensirion气体质量流量计

超快稳定时间（低至50 ms）

优秀的精度/重复性（分别为设定点的0.8%/0.1%）

宽控制范围（1000:1）

多种接口可选：RS485、DeviceNet、IO-Link和模拟电压/电流

多种接头形式可选：底部安装式、Swagelok、VCR、VCO、W-Seal

多气体及气体识别功能

可溯源至 NIST 的校准

MTBF 169年

优秀的CMOSens®技术

SFx5400产品的核心是优秀的Sensirion CMOSens技术。该技术将高精度传感元件与先进的信号处理集成在单个芯片上，从而提供精确校准和温度补偿的信号（见图1）。得益于这种传感器技术，SFC5400在速度、精度和重复性方面具有优秀的表现，同时系统成本也具有竞争力。由于SFx5400出色的长期稳定性，无需重新校准。

SFC5400提供最快的稳定时间、宽控制范围以及机械接头和通信接口方面的高灵活性。数字版本还提供可选的智能功能，如多气体和量程、气体识别和自检功能。

SFM5400是基于SFC5400质量流量控制器的无阀流量计。它具有与MFC对应产品相同的性能优势和配置，但不提供控制器功能。

SFC5400 / SFM5400产品的出色性能使其成为众多应用的选择，例如分析仪器、镀膜/刻蚀设备、医疗设备和过程自动化等。

Sensirion气体质量流量计 工作原理介绍

基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通过基于热传递的量热法（calorimetric）原理测量气体质量流量。加热元件位于热绝缘薄膜上，上游和下游分别集成一组热电堆（thermopiles），共两组，全部集成在单个硅芯片上。在气体流动时，上游和下游的温度分布会被扰动。然后测量这种不对称性。测量区域以及A/D转换器和进一步的信号处理基于使用CMOS标准工艺的单个芯片（见图2）。

基于MEMS的CMOSens技术实现了比传统质量流量控制器中的旁路毛细管直径（0.1至0.5 mm）更大的气体通道截面（约1.5×1 mm²）。这种通道设计使设备对颗粒、堵塞和潮湿气体更加稳健。由于紧凑的单芯片设计及其安装在金属部件之间，基于CMOSens®的传感器对电磁干扰（EMC）具有很强的抗干扰能力。

薄膜极小的热质量造就了3-4毫秒的超快传感器响应时间。由于放大、A/D转换、数字线性化和温度补偿的整个设计与该传感器速度相匹配，因此可以每毫秒提供一个补偿的流量测量值。结合运行在板载微处理器上的先进控制算法，SFC5400与传统质量流量控制器相比提供了大幅缩短的稳定时间（见图3）。

此外，两个温度传感器的特殊布置、片上温度补偿以及噪声源的最小化，带来了在大动态范围内重复性和精度方面的优秀的性能。得益于其设计，SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/流量计表现出零漂移性能，无论环境温度和压力如何变化，都能精确控制/测量真实的质量流量。
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