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SFc5400气体质量流量计
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2026-06-15北京市
- 型号
产品简介
所有数据(除非另有说明)适用于以下校准条件:温度 20oC,氮气 (N2 ),水平安装位置(电气连接器在顶部),底部安装连接,对于SFC5400为3.0 bar过压(入口: 4.0 bar绝对压力)对大气(出口: l.0 bar绝对压力),对于SFM5400为<0.2 bar过压。
SFc5400气体质量流量计提供最快的稳定时间、宽控制范围以及机械接头和通信接口方面的高灵活性。数字版本还提供可选的智能功能，如多气体和量程、气体识别和自检功能。
详细信息
1.简介
SFc5400气体质量流量计提供最快的稳定时间、宽控制范围以及机械接头和通信接口方面的高灵活性。数字版本还提供可选的智能功能，如多气体和量程
、气体识别和自检功能。
2.工作原理
基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通过基于热传递的量热法(calorimetric)原理测量气体质量流量。加热元件位于热绝缘薄膜上，上游和下游分别集成一组热电堆(thermopiles) ,共两组，全部集成在单个硅芯片上。在气体流动时，上游和下游的温度分布会被扰动。然后测量这种不对称性。测量区域以及A/D转换器和进一步的信号处理基于使用CMOS标准工艺的单个芯片
基于MEMS的CMOSens技术实现了比传统质量流量控制器中的旁路毛细管直径(0.1至0.5 mm )更大的气体通道截面(约1.5×1 mm² )。这种通道设计使设备对颗粒、堵塞和潮湿气体更加稳健。由于紧凑的单芯片设计及其安装在金属部件之间，基于CMOSens®的传感器对电磁干扰(EMC)具有很强的抗干扰能力。
薄膜极小的热质量造就了3-4毫秒的超快传感器响应时间。由于放大、A/D转换、数字线性化和温度补偿的整个设计与该传感器速度相匹配 ,因此可以每毫秒提供一个补偿的流量测量值。结合运行在板载微处理器上的先进控制算法，SFC5400与传统质量流量控制器相比提供了大幅缩短的稳定时间
此外，两个温度传感器的特殊布置、片上温
度补偿以及噪声源的最小化，带来了在大动态范围内重复性和精度方面性能
。得益于其的设计， SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/流量计表现出零漂移性能，
无论环境温度和压力如何变化，都能精确控制/测量真实的质量流量。
CMoSens®SFC5400 /SFM5400质量流量控制器/流量计性能
CMoSens®SFC5400 /SFM5400质量流量控制器/流量计性能
表l : CMOSens ®SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/流量计规格概述
规格 | 数值 | 单位 | |
满量程流量 | 0.05, 0.l, 0.2, 0.5, l, 2, 5, l0 | 20, 50, l00 | ln/min 或 slm |
精度 l 以较大者为准 | 0.8 | l | % 设定点2 |
0.08 | 0. l | % 满量程 | |
重复性 以较大者为准 | 0. l | 0.2 | % 设定点 |
0.0l | 0.02 | % 满量程 | |
典型稳定时间 3 | l00 (优化版本为50) 4 | ms | |
测量频率 | l000 | Hz | |
控制范围 5 / 测量范围 | 优于 l,000:l |
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标准校准气体 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | Air/N2, O2 |
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气体换算校准 6 | 标准: SF6 , C4F8 可按需提供其他气体或混合物 (不兼容强反应性/腐蚀性气体,请参阅接液材料清单或联系我们) |
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工作温度(环境和气体) | 0 - 50 / 32 - l22 | oC / oF | |
零点温度系数 | 0.005 | % 满量程/ oC | |
量程温度系数 | 0.06 | % 设定点 / oC | |
满流量时压降SFC5400 SFM5400 |
< 2.0 / 29 < 0. l / l.5 |
< 3.0 / 43 < 0.2 / 3 |
bar / psig |
最大入口压力 7 | l0 / l45 | bar / psig | |
最大压差8 | 5 / 73 | 4 / 58 | bar / psig |
外部泄漏率 (MFC) | 9 x l0_9 | 9 x l0_6 | mbar l/s He |
关闭阀门泄漏率 | l x l0_6 | mbar l/s He | |
预热时间 9 | l | sec | |
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