VMS外螺纹内牙直通接头半导体超高纯接头

JPE VMS 外螺纹内牙直通接头作为半导体超高纯接头系统中的直通连接组件，采用 JPE 的金属垫片面密封（VMS）技术。

在半导体超高纯接头应用中，密封性能、颗粒控制与材料纯净度是衡量产品价值的核心标准。

JPE VMS 外螺纹内牙直通接头通过精密加工的 SS316L 本体与金属垫片形成无污染物截留的金属对金属密封结构，从根本上消除了弹性体密封件可能带来的微量释气与颗粒污染风险。

这是现代半导体先进制程中对超高纯度气体（UHP）和化学品输送系统的底线要求，也是本产品区别于传统卡套或O型圈密封接头的根本价值所在。

对于同样要求严苛的生物制药、精密分析仪器等领域，本产品凭借与之相同的洁净度与无泄漏特性，可在真空负压至正压范围内提供长期稳定的无泄漏服务，是确保关键介质从源头到工艺腔体“全程纯净”的重要保障

VMS密封技术详解

VMS 全称为 Vacuum Metal Seal，是一种由多个精密加工零件组装而成的金属垫片面密封结构。其工作原理为：在外螺纹螺母或接头本体与内螺纹螺母接合的过程中，金属垫片被两侧的精密凸缘压紧，从而完成全金属界面的密封

以下是本产品作为半导体超高纯接头的关键技术指标

1.表面处理精度： 接管及接头本体均经过精密表面处理，标准抛光粗糙度 Ra ≤ 0.25μm。在半导体超高纯接头应用中，这一“镜面级”表面处理工艺可有效防止颗粒物在管壁的粘附与积聚，是确保 6N 乃至 9N（99.9999999%）级超高纯度气体传输纯度的核心工艺之一。

2.氦气泄漏率： 出厂前已完成氦气泄漏测试。使用镀银垫片时最大泄漏率为 4.1 × 10⁻⁹ mbar·L/s；使用无镀银垫片时更为严苛，最大泄漏率可达 4.1 × 10⁻¹¹ mbar·L/s。

3.可追溯性管理： 接头本体标记了制造商、材料牌号及制程追溯号码，满足半导体等高精尖行业对质量全流程追溯的行业标准要求。

应用场景与系统集成

半导体超高纯接头系统集成

本产品的 VMS 金属面密封设计，使其成为半导体特气输送系统（Gas Delivery System）中阀门与管道之间的理想过渡连接件。相比传统的卡套接头或VCR接头，VMS结构在组装便利性与泄漏管控之间取得了均衡优化，尤其适用于空间紧凑、对密封完整性高要求的超高纯（UHP）工艺气体分配模块。

特气柜与气源分配器连接

紧凑尺寸使其特别适用于半导体工厂特气柜（Gas Cabinet）、气源分配器及阀门箱内部的高密度管路布局。其一端为 VMS 外螺纹，另一端为 NPT 内螺纹，能够灵活衔接不同类型的下游设备接口，是气路系统中实现异构连接的标准解决方案之一。

生物制药高纯流体传送

凭借 SS316L 材质良好的生物相容性与耐腐蚀性，以及金属面密封的特性，本产品同样可应用于生物反应器、细胞培养设备等对无菌性和流体纯净度要求同样严苛的生物制药高纯流体传送系统。

腐蚀性与工艺气体管路

对于含卤素（Cl₂、F₂）、强腐蚀性（HCl、HF）及易燃易爆（SiH₄、PH₃）等有毒特种气体，弹性体密封件面临快速失效甚至引发安全事故的风险。本产品由 SS316L 本体与金属垫片构成的超高纯金属密封面，能够长期耐受化学腐蚀与高压冲击，从根本上消除密封失效隐患。

详细尺寸信息如下：

如有需要请联系我们