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半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪（试验级）
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2026-03-22合肥市
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产品简介
此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱，手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用，半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异，对于材料进行提纯，参数准确，工艺可靠稳定，实验结果表明，单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度，将材料的纯度提升一至三个数量级
详细信息
此款设备将实验级别的升华机进出料端均对接手套箱，手套箱可内衬四氟或喷涂特氟能起到防腐作用，半导体材料升华仪根据材料升华温度、分子量的差异，对于材料进行提纯，参数准确，工艺可靠稳定，实验结果表明，单次升华可大幅度降低有机材料中的杂质金属离子浓度，将材料的纯度提升一至三个数量级。整个操作过程材料与大气隔绝，避免了大气中水、氧的影响以及灰尘的污染，是制备高纯度半导体前驱体及相关材料的。
参数：
| 型号 | BOF-5-100 |
| 额定功率 | 6KW |
| 工作温度 | 600℃ |
| 推荐升温速率 | >10℃/分钟 |
| 炉管尺寸 | 外径φ100x1200mm |
| 加热区长度 | 100+200+200+200+100mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热元件 | 进口KTL电阻丝 |
| 分子泵抽速 | 250L/s |
| 机械泵抽速 | 16L/s |
| 炉体尺寸(长*宽*高) | 1550*650*1260mm |
| 极限真空 | 5x10^-4Pa |
| 手套箱 | 左右各配置一台单工位，1220*750*900mm |
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