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白光干涉仪
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2026-03-09北京市
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产品简介
白光干涉仪采用白光干涉测量传感器，其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数：测量原理:白光干涉测量；测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围：100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm；X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm；工作距离：3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
详细信息
白光干涉仪
详细技术参数：
测量原理 白光干涉测量
测量物镜 10X 20X 50X
垂直测量范围： 100um(400um可选)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y测量范围： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距离： 3.6mm 3.6mm 1.7mm
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