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AC-S030C/M 模拟式流量控制器/计

具体成交价以合同协议为准

2026-03-01成都市
型号
成都松盛测控技术有限公司

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产品简介
模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M主要应用在量程范围从10SCCM--30SLM之间气体流量的测量和控制,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)
详细信息

模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M主要应用在量程范围从10SCCM--30SLM之间气体流量的测量和控制,采用新型传感制作工艺,具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点,适用于绝大多数干燥、干净的气体(及少数腐蚀性气体)。

性能特点:

1、响应速度快     2、耐压程度高

3、抗干扰性强     4、宽压力范围

5、流量控制精准   6、数据传输距离远

技术参数:

气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位:SCCM(标准毫升每分钟)   SLM(标准升每分钟)

标准状况:温度--293.15K(20℃)   压力--101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale)表示满量程

型号

AC-S030C

AC-S030M

流量规格

10SCCM---30SLM

控制量程(N2)

2—99%

1—99%

精度

≤±1%F.S

线性

≤±0.5%F.S

重复性

≤±0.2%F.S

阀门类型

常闭阀

响应时间

1—2S

耐压

50Bar

通讯信号

模拟通讯  0—5V或4—20mA

供电方式

15VDC或24VDC(300mA)

泄露率

1X10-9atm.cc/sec.He


模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M应用行业:真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备

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