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科晶 GSL-1100X-SPC-16-3型 等离子三靶溅射仪
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2026-01-28上海
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产品简介
一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。
详细信息
沈阳科晶 GSL-1100X-SPC-16-3型 等离子三靶溅射仪
仪器概述：
GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。
主要技术特点：
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得理想的镀膜效果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
6、已通过CE认证。
主要技术参数：
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×00mm，承重50kg以上 5、通风装置：不需要 | ||
技术参数 | 1、靶：Ø45mm 2、真空室：Ø160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位：3个 5、电流：50mA 6、可设定最长时间：900s 7、微型真空气阀：连接Ø3mm软管 8、电压：1600V DC 9、机械泵：2L/s | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 铜靶材 | 1个 | |
3 | 铝靶材 | 1个 | |
4 | 进气针阀 | 1个 | |
5 | 保险丝 | 2个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
