热式气体质量流量控制器

特性：LFMFC产品采用单电源供电(12~24VDC)；
可以连二次仪表显示；具有多气体多量程，高精度，极低零漂，软起动功能及强.

1、 输出方式：外部 0~5VDC 4~20 mA ；

 
LFMFC数字型质量流量控制器主要指标:
流量规格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
                （10、50、100 ,200,500,700）SLM
准确度： ±1%F.S.
线性： ±0.5%F.S.
重复精度： ±0.2%F.S.
响应时间： ≤1Sec
工作压差范围： (0.05~0.3)MPa
耐压： 10Mpa  
工作环境温度： 5~65℃
电气连接： 8 针（小型圆插头）外形尺寸：132*28*85mm
输入/输出信号 Digital：； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源： 12~24VDC ；1A
标准接头： 10，12mm双卡套