数字质量流量控制器SEC-Z522MGX堀场HORIBA

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产品介绍

数字质量流量控制器SEC-Z522MGX

用户侧可以更改气体种类和流量范围的多功能/多气体功能的数字质量流量控制器的畅销型号。

±1.0%S.P.的高精度、全范围1秒以内的高速响应、实现5SCCM到500SLM的宽范围。通信方式可以选择数字/模拟、DeviceNet™、EtherCAT®通信。不仅是顶端工艺，也是各种制造工艺的最佳质量流量控制器。

SEC-N112MGM

10SCCM到1000SLM的宽泛流量控制范围，具有数字、模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®等多种可选通信方式，适用于各种工业和应用的通用型号数字质量流量控制器。具有±1.0%S.P.的高精度、全范围1秒以内的高速响应、还具备多范围/多气体功能