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微型单温区CVD系统
具体成交价以合同协议为准
2025-07-25合肥市
- 型号
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产品简介
微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等
详细信息
微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
产品特点
- 双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；
- 高纯状氧化铝纤维绝缘层，节约能源；
- 炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。
技术参数
项目 | 型号 | TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440 |
炉管尺寸 | Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可选） | |
可达温度 | 1200℃（短期） | |
工作温度 | 1100℃ | |
推荐升温速率 | ≤10℃/min | |
加热区长度 | 440mm | |
额定功率 | 3kW | |
适配电源 | AC220V 50Hz | |
温控系统 | K型热电偶 集成式触摸屏控制 | |
控温精度 | ±1 ℃ | |
密封系统 | 炉管两端配有快开式密封法兰 | |
外形尺寸 | 620*420*580mm | |
气体量程 | 100～1000SCCM | |
气路数量 | 2～4路（MFC） | |
气路工作温度 | 5～45℃ | |
VRD-8 | 承载量：1000Lbs；抽气速率:10m³/h 极限真空度：10-1Pa | |
真空度 | ||
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