NS-Z100-02Z轴物镜定位台

典型应用： 显微成像、晶圆切割、微电子精密加工、物镜调焦及扫描、可定制不同的物镜接口。

纳米位移系统的应用越来越广泛，从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种*行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米（nm）的位移，整个系统包含3部分：纳米位移台、控制器和控制软件。

纳米位移台是一种机械装置，内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。三英设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置精密传感器，闭环控制时，三英的传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。

控制器为纳米位移台提供电源。在闭环控制时，纳米位移台内部的传感器为控制器提供位移数据。控制器周期性的处理位移数据并修正输出电压信号，从而使位移数据与指令数据相同。

三英提供简单易用的软件。纳米位移系统通常作为大型设备的一个部件，因而纳米位移系统与其他硬件良好配合是相当重要的。三英控制器对外通信方式有多种，常用的方式是通过BNC模拟信号（-10V~10V）控制纳米位移台的位移。还可以通过USB接口和数字IO实现与控制器的通信。三英控制器内部软件实现了基于PID算法、陷波滤波器的闭环控制，内部集成了正弦波、方波和三角波的波形发生器。

如有客户需求，三英可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。

纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台 超低温纳米定位台