T 系列 MFC 质量流量控制器MFC

质量流量控制器MFCT 系列 MFC

采用热式传感器 + 低热电磁阀 + 压力传感技术满足主流测量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)重复性对标行业产品 ( ≤±0.2% F.S. )。

工作原理

• 热式测量原理：利用两个温度传感器，一个测量气体的初始温度，另一个测量被加热后的气体温度，通过计算温差，并结合气体的比热容，精确计算出气体的质量流量，无需对压力和温度的变化进行补偿，提高了测量精度1。

• 压差式测量原理：由压差式流量传感器实时测量气体流经流过节流元件时产生的压差来计算气体的体积流量，控制阀根据流量传感器的测量与反馈，精确调整开度，以确保通过 MFC 的气体流量与预设值相匹配2。

产品特点

• 高精度测量：采用先进的传感器技术和制造工艺，能够实现高精度的气体流量测量和控制，测量误差可低至 ±0.5% 读数，重复性达到 ±0.1%，满足半导体等gaoduan领域对纳米级流量波动的严苛要求3。

• 快速响应：配备 PID 控制器和高速电磁阀，这些组件能够在毫秒级的时间内对流量的偏差进行修正，响应时间通常小于 100ms，可及时应对各种动态变化，确保流量的稳定1。

• 宽量程范围：量程覆盖范围广，从微小流量到高流速场景均可适用，例如可以覆盖 0.1sccm 至 20000slpm 的范围，满足不同应用场景的需求3。

• 多气体兼容：支持多种气体的精确测量和控制，如 N₂、Ar、H₂、SiH₄、NH₃、CF₄等常见气体，可通过多气体校准技术，确保在不同气体测量时都能保持高精度14。

• 良好的稳定性：关键部件如传感器和加热元件通常采用恒温控制技术，减少温度漂移对测量精度的影响。同时，采用激光焊接工艺来制造流道，有效避免泄漏现象的发生，从而保证测量结果的准确性和长期稳定性1。

• 多种通讯接口：配备 RS485、Profibus 等通讯接口，支持触摸屏实时显示温度、压力、标况 / 工况流量等参数，方便用户进行远程操作和监控，可与各种自动化控制系统集成3。

应用领域4

• 半导体与电子制造：在晶圆加工、薄膜沉积（CVD/PVD）和刻蚀（Etching）等工艺中，精确控制反应气体的流量，确保工艺稳定性和芯片性能。

• 化工与制药行业：用于化学反应过程中控制反应器中气体的流量，如 O₂、CO₂等，优化反应速率和产物质量。

• 新能源与燃料电池生产：调节氢气和氧气的输入流量，优化电化学反应效率和电池输出功率，同时也可用于控制电解过程中氧气和氢气的分离与流量，以及管理 CO₂捕获和压缩过程中的气体流量。

• 环境监测与实验室：为气相色谱仪（GC）、质谱仪（MS）等设备提供标准气体流量，也可用于精确控制环境监测设备的气体采样流量，如 PM2.5、VOCs 检测等。