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ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列
具体成交价以合同协议为准
2026-05-18北京市
- 型号
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产品简介
量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，优于1 %的精度，控制范围广，优于100 ms响应时间美国ALICAT 21W系列低压降质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。21W系列具有超低压损，满量程压损可达360Pa。......
详细信息
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力
● 可选高精度：可优于0.5 %
● 可测范围广，0.01~99%满量程
● 满量程超低压损为360 Pa
● 阀门响应时间快，优于100 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
应用及案例
● 低温容器检测
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 汽车制造
● 过程工艺气体测量
精度升级
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差
± 0.1 % 读数 / Atm压力差
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
测量和控制范围 0.01～99%
显示流量 128 %满量程
可控流量 102.4 % 满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分
±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ±（0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度漂移 0.03%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃
质量流量压力漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar
响应时间 优于100 ms
预热时间 ＜ 1 s
标定工况 25 ℃ & 1Atm（可现场在测量范围内随意更改）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
工作压力 0.3 MPa表压，进出口允许瞬时压差70 Kpa
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5 %读数（读数＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 7 - 30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC ）
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、 铝
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
选项配件
待更新。
机构认证
待更新。
尺寸压损
满量程质量流量控制器 | 满量程压损1（psid） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 连接接口2 |
0.5 sccm - 2 sccm | 0.06 | 3.9''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）内螺纹（含M-5 （10-32）外螺纹Buna-N O型密封圈至1/8'' NPT内螺纹） |
5 sccm - 10 sccm | 0.08 | ||
20 sccm | 0.07 | ||
50 sccm - 200 sccm | 0.07 | 4.1''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
500 sccm | 0.08 | ||
1 slpm | 0.10 | ||
2 slpm | 0.18 | ||
5 slpm | 0.10 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4''NPT内螺纹 |
10 slpm | 0.12 | ||
20 slpm | 0.26 | ||
40 slpm | 0.14 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
50 slpm | 0.17 | 5.5''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
100 slpm | 0.30 | ||
250 slpm | 0.69 | ||
500 slpm | 0.69 | 5.5''H x 8.1''W x 2.7''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
1000 slpm | 1.65 | 6.3''H x 9.8''W x 4.5''D | 2'' NPT 内螺纹 |
1、公制当量见图纸。 2、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。 | |||
产品大图
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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