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中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪
> 基片尺寸φ5-φ100mm圆片、100x100mm2方片
> 转速:250-9000转/分
> 特点: 任意阶段之间均可任意升降调节
> 转速稳定度:<±1%,胶的均匀性<±1%
> 匀胶阶段:6段
> 匀胶时间:每个阶段0-1800S可调
> 电机功率:40W
> 整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm
> 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料