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中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm
> 参数:手动旋钮控制
> 基片尺寸φ200-φ600mm圆片、500x500mm2方片
> 转速:200-2000转/分
> 显示转速稳定度:±1,胶的均匀性±5%
> 匀胶阶段:2段
> 匀胶时间:3-60s可调
> 电机功率:320W
> 仪器尺寸:980mmx855mmx855mm
> 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料