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英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称:旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。
KW系列匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。
1 .配方带掉电保护功能 2.加速度可调 3.带防飞片保护与报警 4.带防进胶保护与报警 5.带自动取片提示功能 | |
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精度 | 指标 |
基片尺寸 | 5-120mm |
速度范围 | 50-10000RPM |
转速精度 | 1RPM |
转速稳定度 | ±0.1% |
加速度范围 | 1-10000RPM/S |
胶均匀性 | ±1% |
控制信号 | 指标 |
人机界面 | 4.3寸触摸屏 |
通信接口 | 无 |
触控笔 | BAMBOO电阻笔(标配) |
真空泵 | AP-550V无油泵 |
编程模式 | 参数 |
设置数据 | 无限组数据,每组10段转速(标配) |
每段时间 | 0-10000秒 |
存储数据 | 无限组数据 |
数据保护 | 默认带掉电保护功能 |
电气参数 | 指标 |
匀胶机交流供电口 | AC100-250V |
真空泵交流供电口 | AC220V(标配) AC110V(选配) |
匀胶机功率 | 200W |
真空泵功率 | 350W |
真空泵抽速 | ≥60L/MIN |
机械尺寸 | 参数 |
匀胶机体积 | 215mm(W)X260mm(D)X160mm(H) |
匀胶机重量 | 10KG |
泵重量 | 9KG |
使用环境 | 参数 |
环境温度 | 0-40℃ |
相对湿度 | < 85% |
技术支持 | 指标 |
质保期 | 1年 |