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GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等离子溅射仪

具体成交价以合同协议为准

2023-08-13天津市
型号
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产品简介
GSL-1100X-SPC-16M是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空
详细信息

GSL-1100X-SPC-16M 是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空。 一个磁控管与Peltier 冷却装置安装在机器的顶部,,这将提供强有力的溅射能源,产生更好和更快的涂层,特别适用于金属靶材,比如铝,锌和镁. 仪器中包含一个金靶和真空系统。

技术参数

工作电压

110V or 220V 50/60 Hz

输出功率

< 2000W (包含真空泵)

输出电压

  • 1600VDC
  • 电流:50mA

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

样品载物台

  • 一个外径50 mm 样品载物台
  • 溅射面积: 45 mm




配件包括

  • 仪器中包含有一直联式双旋机械泵,可使反应腔体真空度达到10-2 torr
  • 用一个KF25的波纹管把真空泵和仪器相连接
  • 可以选购一个循环水冷机16L/min

可通入气体

通过针阀通入氩气,能实现更好的等离子涂层

靶材

  • 标配靶材:
  • 包含:Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可选靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
    Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期,终身维护

CE Certified

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