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露光机
具体成交价以合同协议为准
2022-08-24广州市
- 型号
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产品简介
Expose Steppers ★广泛应用于微电机、LED、微电子等行业 ★宽程聚焦、点对点校正 ★尼康超级镜头实现1μm分辨率 ★校直系统精度≤0.3μm ★良好人机界面，操作简便
详细信息
解析度：≤2.0μm
镜头-NA：0.2/0.16
露光范围：15mm×15mm
露光用波长：405nm
校直系统精度：≤0.3μm
试料尺寸：2"-6"
露光量：可达100个试料/小时
尺寸：1150×1940×2080mm
重量：1750kg
聚焦
应用：
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