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高温数字式质量流量控制器
HORIBA高温质量流量控制器 SEC-8460F SEC-8450F SEC-8460F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.


HROBA STEC 高温质量流量控制器 SEC-8440F SEC-8450F SEC-8455F SEC-8460F SEF-8440F SEF-8450F SEF-8455F SEF-8460F SEC-8470F SEC-8440D SEC-8450D SEC-8455D SEC-8460D SEC-8470D
Analog (0 - 5 VDC) /Digital (RS-485 F-NET)DeviceNET™EtherCAT®NoNoNoSwagelok, VCRMetalPiezo electric - Normally closedand normally openMount-free5 SCCM - 150 SLM15 - 120°CS
| 品牌 | HORIBA/厚礼博 |
| 材质 | 碳钢,不锈钢,铜,衬氟,塑料,铸铝合金,铸铁,透明丙烯酸,哈氏合金,钛,玛瑙,氟包塑,其他 |
| 精度等级 | 0.5 |
| 适用介质 | 气体,其他,污水,蒸汽 |
| 款式 | 电子带数显 |
| 转换器形式 | 分体式 |
| 公称直径 | 6mm |
| 压力范围 | 中压 |
| 工作压力 | 1Mpa |
| 流量测速范围 | 1kg/h |
| 温度范围 | 高温 |
| 工作温度 | 150℃ |
| 量程比 | 10:1 |
| 产地 | 国产 |
| 加工定制 | 是 |
| 质保 | 1年 |