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HORIBA 提供多种质量流量控制产品,包括质量流量控制器和质量流量计。质量流量控制产品都具有高精度、快速响应的特点。气流控制器的产品范围包括两类传感器:压差式传感器和热式传感器,以及多种通信方式:模拟式、数字式、DeviceNet™、PROFIBUS® 和 EtherCAT®。选择高精度压电陶瓷阀或更传统的电磁阀控制工艺气体。
根据气体或液体兼容性要求,可提供各种金属密封件或 VitonTM 密封件。
提供调节比达 10:1 的各种设备。
如对灵活性有要求,可以选用多气体(用户可以设定气体类型)和多量程(用户可以设置流量范围)设备。多气体、多量程流量控制器还可减少库存量。