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Filmetrics F54 系列产品集成显微成像装置,可以自动测量微观区域的薄膜厚度分布,光斑尺寸可做到1um。F54采用电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点,并以每秒测绘两个点的速度快速完成薄膜厚度的测绘,样品直径可达450毫米,F54内建数十种同心圆,矩形或线性图案模式,也可自行建立无数量限制的测量点。
F54 自动薄膜测绘只需连接设备到运行Windows™系统计算机的USB端口, 可在几分钟内轻松完成设置,不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别,通常较薄的薄膜需要用较短的波长来测量(如F54-UV) ,而较长的波长用来测量更厚,更粗糙或更不透明的薄膜。