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参考价:
具体成交价以合同协议为准
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应用领域
– LED的性能和可靠性
– GaN功率晶体管
– 线位错密度(TDD)
– 载流子寿命测试和动力学
– 晶体缺陷研究
– 太阳能电池的效率
– 纳米尺度光电器件的研发
– 宽禁带半导体研究
设备特点
• 可实现定量测量的阴极荧光分析系统SEM-CL
• 300μm直径的视场
• 优于10nm的空间分辨率
• 10ps的时间分辨率
• Schottky场发射枪(连续系统)和皮秒脉冲光电枪(时间分辨模式)
• 样品温度范围:20K-300K,位移精度1nm
工作模式
• 光学显微镜成像
• 阴极荧光测绘(多色,单色和高光谱)
• 二次电子测绘
• 时间分辨阴极荧光(时间分辨选项)
• 二次电子和阴极荧光同步测绘