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脉冲激光沉积系统 Pioneer 180 PLD System

具体成交价以合同协议为准

2021-11-17
型号
北京正通远恒科技有限公司

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科研仪器
产品简介
•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积
详细信息

•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。

•使用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。

•氧化膜沉积的氧相容性。

•升级:离子辅助PLD,组合型PLD,目标衬底负载锁定。

•其他沉积源:脉冲电子沉积(PED),射频/直流溅射,直流离子枪。

•与XPS /ARPES特高压集群工具集成,原位特高压晶片转移。

•原位诊断:低角度x射线光谱学(LAXS)和离子能光谱学(IES)。

Pioneer 180 PLD系统是一款用于在各种衬底上制备多种材料的高质量外延薄膜、多层异质结构和超晶格的交钥匙PLD系统。该PLD系统与 Pioneer 120 Advanced PLD System系统的主要区别在于,具有更大的沉积模块,有助于 Pioneer 120 Advanced PLD System可能有限的一些升级。Pioneer 180 PLD系统集成了兼容氧的辐射加热台。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气,这是一种特性助于制备外延氧化膜,即满足了(i)沉积在氧气中,(ii)沉积后退火在氧气中,以及在接近1大气压的氧气中冷却。衬底连续旋转,并可以负载锁定。

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