CS200-D数字质量流量控制器

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2025-10-18

上海淞涵精密设备科技有限公司

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产品简介

高性价比金属密封产品

详细信息

高性价比金属密封产品，高精度，多气体多量程，自动调零，量程2sccm-30slm，全金属密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet

详细参数

产品技术指标

产品型号	CS200-D
量程(N₂)	( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
量程(N₂)	( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
精度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
精度	±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% FS
响应时间	≤0.8 sec (SEMI E17-0600)
阀类型	Normally Closed or Normally Open
温度系数	Zero: ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃
零点漂移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
表面粗糙度	25µinch
工作环境温度	（0～50）℃
数字信号接口	ital: RS485 DeviceNet^TM
模拟流量输出信号	0-5V和4-20mA
模拟流量控制信号	0-5V和4-20mA
电源要求	±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
电连接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet^TMmale
工作压差范围	(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（>10slm）
耐压	3MPa
漏率	1×10^-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He）
密封材料	Metal
表面化学成分	Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20
接头尺寸	VCR1/4” M SwagelokΦ6，Swagelok1/4” W-seal，C-seal
重量	1.2kg