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FPSMAR-pod70.42 六轴并联定位平台 光学表面分析仪
具体成交价以合同协议为准
2022-11-25
- 型号
- FPSMAR-pod70.42
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产品简介
六轴并联定位平台70.42规格参数行程范围：
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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六轴并联定位平台70.42采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度
详细信息
六轴并联定位平台70.42采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
六轴并联定位平台70.42采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六轴并联定位平台70.42规格参数
分辨率<1nm
负载：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
垂直载荷Fv:5N
负载：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
垂直载荷Fv:5N
水平力Fh:2.5N
定位器尺寸:Ø 70 x 42 mm^3
重量:约300克
x- 10 mm
y -10 mm
z -5 mm
Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °
材料和真空可选项目Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °
带纳米传感器-S闭环
最小增量（x，y，z）：1nm
最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重复精度(xyz全行程）：±200 nm
重复精度(Θxyz全行程）：±10urad
重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
纳米级距离编码传感器
非磁性材料（NM）-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六轴并联定位平台应用案例
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